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ZnO温度传感器光谱监测系统的设计
作者:
叶必卿
汪飞
隋成华
鄢波
石文渊
来源:
中国激光
日期: 2022-07-26
人气:4
为解决ZnO温度传感器测温精度和集成化的问题,设计了一套测量光谱范围为350~450 nm,分辨率为0.1 nm的光谱监测系统。通过合理地选择光学系统的结构、计算各光学元件的参数和光路结构以及消除系统像差,实现了光谱监测系统的窄波段、高分辨率的要求。最终结果显示系统的体积为111 mm×83 mm×30 mm,基本满足系统可集成化的要求,可以做进一步的优化,公差分析使之满足加工需求。
关键词:
光学设计
交叉非对称切尔尼-特纳系统
温度传感器
球差
彗差
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