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干涉仪光程差的遥测及其应用研究
作者:
李东
虞沪生
来源:
仪表技术与传感器
日期: 2023-05-03
人气:15
用由光纤串接的双白光迈克尔逊干涉仪所组成的干涉系统可以实现位称量的遥没。论述了该干涉仪系统的工作原理,实用设计和实验结果,在2000μm的测量范围的内遥测精度达到±0.5μm并且传输精度既与光纤本身的损耗无关,也与接头或联接器的损耗无关,具有较强的实用性,将此系统应用于甲烷气体浓度的遥测,其精度达到±0.11%,它相当于±0.04μm的位移遥测精度。
关键词:
遥测
干涉仪
光程差
应用研究
位移测量
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