建立了电容式微加速度计的结构模型，运用有限元分析方法对其进行模态分析，研究了微加速度计结构尺寸对谐振频率和模态振型的影响，得出了结构尺寸对这两者的影响规律，为此类加速度计的结构设计提供了依据。