为满足纳型卫星的遥感系统要求，设计了一套基于互补型金属氧化物半导体CMOS图像传感器的纳型卫星遥感系统，采用PC机模拟星上数据处理系统的功能，通过控制器局域网cAN(controller area network)总线实现了对CMOS相机的控制和图像传输等功能。通过热循环实验，得到了该CMOS相机平均暗输出和暗不一致性随温度的变化曲线，预测其适于在10～25℃的空间温度环境中工作，并可经受-25～60℃的卫星舱内温度变化。

    传统的pH位测量是基于电化学的原理，采川电极实现的。这种玻璃电极不仅直径较人，而巨存在使用寿命短、响应速度慢以及容易损坏等缺点。尤其在进行pH值的连续高精度监测时，此类电极更难以满足要;长。

静压空气轴承拥有清洁、近零摩擦等优点，是一种优秀的运动导向承载部件，但是它在承栽方向上阻尼较小，对外界引起振动和空气轴承本身固有微振动的衰减较慢，影响了系统的稳定性和测量准确性．为了解决这个问题，本文以小孔节流空气轴承作为研究对象，在其结构中部增设了类似空气弹簧的上下腔室和节流孔，当空气轴承振动时，压力空气在上下腔室之间流动，通过节流孔处的节流效应将振动能量衰减掉．根据这一构想，首先对新结构通过空气弹簧理论进行了初步优化设计，接着对新结构空气轴承和普通空气轴承进行了冲击响应实验，证实了新结构能够很好地起到快速衰减振动的作用，同时对微振动有良好的抑制效果，然后通过模态分析软件MEscope得到了空气轴承的阻尼比系数，发现新结构空气轴承阻尼比系数较普通结构空气轴承阻尼比...

基于体硅工艺的微反射镜具有体积小、质量轻、驱动电压低、偏转角度大等优点，在激光敌我识别和光通信等领域都有着广泛的应用。该文设计了一种基于体硅工艺的微反射镜，其偏转角度可以通过驱动电压控制；对这种结构建立了理论模型，对吸合电压、吸合角度和固有频率进行了分析；简要介绍了这种微反射镜的加工工艺；并对微反射镜样机做了原理性实验研究。微反射镜镜面面积为1240／Lm×980／Lm，最大偏转角度约为2．6°，吸合电压约为27V，固有频率为750Hz左右。

反射式微光机电系统是微光机电系统中的重要组成部分，近年来得到了较快的发展。介绍了反射式微光机电系统(MOEMS)的研究现状和最新进展。根据反射式微光机电系统的分类，列举了一些具有代表性的反射式MOEMS器件。简要介绍了反射式MOEMS的加工工艺；阐述了反射式MOEMS的应用领域；展望了发展前景。

对射线实时成像的预处理技术进行了较为详细的研究，提出了图像增强处理的硬件方法并对其原理进行了介绍。从射线实时成像检测的特点出发，重点对图像的去噪处理进行了分析与比较，分别采用叠加平均、局部平滑、方向滤波、频域滤波等方法进行处理，分别给出了这些方法的数学模型及处理结果。实际表明，经过以上处理，射线实时成像的图像质量有了明显提高。

在超精密加工／检测、IC制造及光学领域中，隔振器已经成为了许多设备的必要子系统，它能够对自地面或负载的振动进行隔／减振，有助于保证设备实现最终的设计精度。在众多的隔振器中，空气弹簧以其性价比高得到了广泛地应用，其固有频率基本不依赖于负载。在C．Erin的研究基础上，将节流孔数目参数引入，通过推导得到了空气弹簧的改进理论模型，并在此基础上分析了腔室、节流孔及或活塞等结构参数对空气弹簧动力学性能的影响，有助于进行结构的优化设计，同时得出在节流孔板高度即节流孔长度限制的条件下，减小节流孔直径并增加节流孔数量会提供较好的阻尼效果。最后通过试验验证了理论分析的结果，为以后的深入被动及主动隔振器的研究打下了基础。