在使用三坐标测量机检测中,规则曲面常常是必检测特征,而检测结果的准确性通常与采样策略有关,采样策略包括采样点数和采样分布。对采样点数进行研究,由于三坐标测量机中点数的选取大都根据经验所得,使得检测结果可能不准确,因此根据待测特征的误差要求提出临界采样点数的算法。分析了常用分布方法的弊端后,提出根据特征的几何形状对应不同的低差异序列采样分布方法,最后在三坐标测量机中进行实验比较,证明所提出的采样分布方法更合理。