高频电源是电感祸合等离子体发射光谱仪的重要组成部分。由于高频电源处于高压、高频、大功率的工作状态，因此出现故障的几率较高。本文介绍美国LEEMAN公司生产的PLAS-MA一SPEC顺序直读电感藕合等离子体发射光谱仪的高频电源原理和故障分析检修实例，供同行参考。