为了使单色仪在极紫外一软x射线波段准确地进行波长扫描，需要对单色仪进行波长标定。单色仪的所有组件都放置在罗兰圆的圆周上，改变出射狭缝在罗兰圆上的位置，在单色仪的出射狭缝处就可以得到相应波长的单色光。通过测量标准He空心阴极光源的发射光谱，对Mcpherson247单色仪进行波长标定，并对实验结果进行了分析，得出在1～100nm波段内单色仪标定精度为±0．017nm-±0．097nm。