介绍了时间间隔测量的基本原理和常用的计数器校准方法，分析了小于1ns的时间间隔校准时存在的问题，并提出一种改进的高精度计数器校准方法。该方法利用高速脉冲发生器、宽带功分器、同轴空气延迟线等设备组成一套校准装置，产生标准的时间间隔，其输出范围为10ps～1ns，最小步进长度为1ps，最大测量误差为±（3ps＋0．01×时间间隔）。实验结果表明，该方法有效地改善了传统校准方法的缺点，可以方便地对高精度时间间隔计数器进行校准。