文中介绍了硅微机械谐振真空传感器的特点及配套研制的真空计。利用恒定振幅不测控电路方式，使整机具有良好的灵敏度和可靠性。真空度测量范围接近１０＾２－１０＾－１Ｐａ，测量响应速度为十几毫秒。