采用高碳铬轴承钢GCr15作为压电微角度驱动器的加工材料，满足了系统高硬度、耐磨性、抗腐蚀性等要求。运用柔性铰链结构为压电陶瓷提供预紧并扩大输出角位移。通过TMS320LF2407型数字信号处理器（I）SP）实现对运动系统的控制，提高了系统数据处理能力和运行速度。对运动系统采用数字比例一积分一微分（PID）闭环控制，提高了驱动器的位移分辨率和重复定位精度。在检测系统中，通过集成在驱动器上的圆光栅，将驱动器的实际输出结果一方面液晶显示，另一方面反馈到DSP内以进行闭环控制。驱动器单周期角位移精度可达3％。