对InGaAsP／InGaAs组成的超晶格，基底为InP的固体微制冷器进行了初步研究，发现热电和热电子转换同时存在于超晶格微制冷器中。提出了简化后的物理模型，具体分析了影响热电转换效率的热阻和电阻、制冷影响因素和误差等因素，计算结果与实际器件接近。