简单介绍了PVD溅射系统和溅射原理．实验分析了PVD溅射技术在微晶玻璃基片溅射沉积Cu膜时，沉积速率随相关工艺参数变化而变化的几点规律．给出了用PVD溅射技术沉积的Cu膜的表面形貌（AFM）图和显微镜照片．