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利用李特洛(littrow)衍射法精确测定纳米样板的线间隔

作者: 高思田 王春艳 邵宏伟 叶孝佑 徐毅 来源:工业计量 日期: 2023-06-29 人气:42
利用李特洛(littrow)衍射法精确测定纳米样板的线间隔
2000年1月,在北京中国计量科学研究院进行了由瑞士联 邦计量局(OFMET)主持的纳米样板——一维光栅的国际比对。运用两种激光器,利用李特 洛( littrow)衍射法对光栅栅距进行了精确测量,并对测量结果的合成标准不确定度作了详细分 析。
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