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> 关键工艺技术
微电机械系统(MEMS)的发展
作者:未知
来源:
光机电信息
日期: 2023-07-23
人气:17
目前全球科研人员正致力于研究一些关键工艺技术,以便能产生下一代光学网络标准组件,即全光开关。在该领域,微电子机械系统具有很大的发展潜力,美国的一些公司已经开始了一些项目的研究,并期望率先使这些技术实用化。然而有这种宏伟期望的并非唯独美国一家,最近两家日本公司在日本东京举行的国际光学展览会上展示了他们在这方面的研究成果。
关键词:
微电子机械系统
MEMS
全光开关
展览会
关键工艺技术
微加热器
反射镜
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