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> 投影光刻物镜
0·35μm分辨率的远紫外投影光刻物镜
作者:
段立安
来源:
电子工业专用设备
日期: 2024-04-23
人气:20
介绍了一种248nm谱线投影光刻物镜光学设计结果,提出制造该镜头应解决的些技术问题。
关键词:
投影光刻物镜
光学设计
分辨率
投影仪
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