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0·35μm分辨率的远紫外投影光刻物镜

作者: 段立安 来源:电子工业专用设备 日期: 2024-04-23 人气:20
0·35μm分辨率的远紫外投影光刻物镜
介绍了一种248nm谱线投影光刻物镜光学设计结果,提出制造该镜头应解决的些技术问题。
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