介绍了一种能自动测量超光滑光学表面积分散射率的积分散射仪.它既能测量光学膜片,同时也能测量光学基片的积分散射.核心部件是一个光学积分球,其作用是收集散射光.对积分散射理论以及仪器原理、关键技术和系统性能等进行了阐述.相对测量精度为±11%,灵敏度为2.3×10-6.