简要介绍了激光扫描声光学显微镜，机械扫描声学显微镜，Ｃ模型扫描声学显微镜的工作原理、结构和特性，并对在电子工业中的应用进行了讨论。

反射式声学显微镜的输出信号主要由近轴声波的反射信号以及声表面弹性波的漏波信号组成。其中漏波信号是否存在，决定于瑞利角θＲ是否落在声学透镜的孔径张角θｍ以内。本文在此基础上，设计了一种带有声阑的声学透镜，利用声表面弹性波对固体材料表面的非均性进行了研究，获得了材料表面微弱梯度非均性的分布图像。

描述７６ＭＨｚ激光扫描声学显微镜的研究试制工作，介绍了激光扫描声学显微镜的基本结构。测试结果表明，该显微镜的分辩率达３０μｍ，探测深度达２ｍｍ，扫描面积达３ｍｍ×４ｍｍ，并已应用于我层陶瓷电容器的无损检测。最后给一些样品的声学像。

显微技术是一门对物质微小区域进行化学成分分析、显微形貌观察、微观结构测定的显微分析技术，广泛应用于各科学领域。近年来出现的近场光学显微镜，是对普通光学显微镜的一种改进，而原子力显微镜、声学显微镜，则是人们不断开发其他显微技术的成果。这些新型显微镜在生物医学领域中都有着非常广泛的应用和迅猛的发展。

本文对声学显微镜的发展概况、工作原理,主要特点和性能指标进行了简明的介绍。与光学显微镜和透射电子显微镜相比,声学显微镜具有两个显著特点可以获得不透明材料内部的丰富信息,在生物样品的观察中可以实现'活检'。正因如此,它在材料科学、检测科学和生物科学以及医疗临床诊断方面得到日益广泛的应用。