根据某θFXZ型特定结构测量机，研究其静力及动力变形误差的系统分析方法．在建立测量机非刚体数学模型的基础上，求解测量机由于力变形带来的测量误差值，并用激光干涉仪对测量机静力及动力状态下的误差分别进行了测量．利用所建立的数学模型对测量机存在的静力变形带来的测量误差进行补偿，使立柱在水平方向的偏摆带来的最大测量误差由补偿前的10．2μm减小到1．0μm实验得到的动力状态变形结果可以用于测量机力变形误差补偿技术的进一步研究

根据水平臂三坐标测量机的结构特点,提出了非刚体三坐标测量机的误差补偿技术。在刚体误差补偿模型的基础上引入附加函数项,通过对测量机的横梁和立柱的详细研究,研究包括横梁和立柱的结构分析,受力分析及误差分析,推导出附加函数的回归方程。从而得到非刚体模型三坐标测量机的误差补偿理论公式。最后利用激光干涉仪对补偿结果进行检验,补偿结果证明非刚体误差补偿技术能有效的提高测量机的精度。