介绍了径向剪切干涉仪的工作原理、类型,分析了其面临的技术难题和各自优缺点。综述了径向剪切干涉仪的发展状况,讨论了它在光信息检测中的重要作用。

针对常规像移式干涉仪无法用于大口径、长光路光学系统波像差检测的工程问题,设计了共光路径向剪切干涉仪以消除采用标准波面所引入的系统误差。设计中采用由三角棱镜与斜方棱镜组合而成的胶合棱镜组作为波面剪切器件,将待测波面与其复制波面产生干涉,并通过一组有不同相对孔径的透镜切换装置来控制干涉仪剪切比。与4D动态干涉仪在不同条件下的比对试验数据表明,设计的剪切干涉仪的测试重复精度约为λ/80,实际测试精度RMS优于λ/20（λ=630nm）。这种设计极大地缩小了仪器外形尺寸与重量,提高了超长光路干涉检测的效率。